Ultra Start 1600M Manuale Utente Pagina 118

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G 10
Pumping curves
Alcatel Vacuum Technology France - User’s Manual ATH 1300 M/MT - ATH 1600 M/MT
GB 00760 - Edition 02 - September 99
2/2
Inlet pressure (Pa)
Inlet pressure (mbar)
Flow rate
(sccm)
1
10
100
1000
10000
10
-3
10
-4
10
-2
110
-1
10
1
10
-
1
10
-
2
110
1
10
3
10
2
F
l
ow rate versus in
l
et pressure
Gas : N
2
Upper limits
for continuous operation
ATH 1300 M, DN 200
ATH 1600 M, DN 200
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